作者：王海娜,徐艳华 单位：上海交通大学 出版：《》 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSYSY2018060210 DOC编号：DOCSYSY2018060219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 采用溶胶-凝胶法制作的敏感性能稳定、具备吸湿性的二氧化硅薄膜，设计了一种新型银-二氧化硅-银湿度表面等离子体共振(Surface Plasmon Resonance，SPR)传感装置，建立了有效折射率和湿度变化模型。分析得到优化入射光的波长可获得最佳的探测效果，随着测量层厚度的增加，共振峰逐渐变得锐利，能够提高检测精度。实验分析表明，电磁场的能量集中在银和多孔陶瓷二氧化硅的交界处附近，银薄膜越厚，SPR光谱越窄；湿度的变化范围是(0%~100%)RH，角度分辨率的测试极限是0.01，湿度传感器可以达到灵敏度为0.025&#176；/%RH。

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