《现代传感器中的微电容检测技术》PDF+DOC
作者:闫世源
单位:中国家用电器服务维修协会
出版:《》
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZZZ2018190220
DOC编号:DOCDZZZ2018190229
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本文介绍了微电容检测在原理、制作和应用上的优势。综述了微电容检测技术在微加速度传感器、微陀螺和微压力传感器上的应用,并详细阐述了微电容检测电路的基本原理。最后分析总结了微电容检测技术的发展方向。
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