作者：卞正岗 单位：机械工业部仪器仪表综合技术经济研究所;中国仪器仪表行业协会 出版：《中国仪器仪表》2009年第07期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZYQB2009070050 DOC编号：DOCZYQB2009070059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 1引言在20世纪80年代，随着美国借助半导体集成电路制造技术研制成功微米级的硅微型静电电机而形成了微机械领域。

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