作者:仇张玥,黄家海,郝惠敏 单位:中国有色金属学会;长沙矿山研究院 出版:《矿业研究与开发》2018年第11期 页数:6页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFKYYK2018110230 DOC编号:DOCKYYK2018110239 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 目前国内的微震监测系统中,由于其基础单元传感器受到结构和检测原理的限制,MEMS加速度传感器普遍基频较高且灵敏度不足,无法对低频微震信号进行有效的采集和监测。在MEMS加速度传感器中,影响其性能的核心部件是传感器中的悬臂敏感结构。设计一种基于单晶硅的低频多弹簧悬臂结构,整体尺寸为25mm×25mm,由中心质量块、对称其分布的7组弹簧结构和框架结构构成。通过Ansys workbench有限元软件对敏感结构建模,并进行静力学及模态仿真分析,仿真结果表明,该结构具有10Hz左右低谐振频率的性能。后期可以将其封装在传感器中进行低频微震信号的监测。

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