作者：卞正岗 单位：中国自动化学会 出版：《自动化博览》2009年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZDBN2009040110 DOC编号：DOCZDBN2009040119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文概述了MEMS技术及它与过程自动化发展的关系。

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