作者：张飞,薛长国,唐毓,张涛,胡业林 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2018年第07期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2018070210 DOC编号：DOCCGQJ2018070219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对现有技术对微弱风力检测困难的问题，搭建基于微悬臂梁传感技术的微弱风力检测系统并实现微弱风力检测。传感器平台使用光纤耦合激光器作为光源，对微悬臂梁自由端进行照射。由微弱风力导致的微梁自由端的微小位移经过光杠杆原理放大，通过四象限探测器感光表面上的光斑相对位置实现对微弱风力的检测。利用编写的Lab VIEW程序进行数据采集控制，并实时显示微悬臂梁偏转位移曲线。实验结果表明：微悬臂梁的偏转位移和风力具有较好的线性关系，系统3倍噪声对应的风力约为1.5&#215；10~(-4)N，风力检测结果的平均标准差为6.7&#215；10~(-9)N，实验数据具有较高重复性。

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