作者： 单位：中国半导体行业协会 出版：《中国集成电路》2009年第04期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJCDI2009040210 DOC编号：DOCJCDI2009040219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 南通富士通微电子股份有限公司的微机电系统(MEMS)封装技术及产品荣获2008年度中国半导体创新产品和技术奖。1产品及技术的简要介绍微机电系统(MEMS：Micro Electro-Mechanical Systems)是目前迅速发展起来的一项新兴技术。

    📙 相关资料

    1. 《基于MEMS传感器的三维鼠标设计与实现》PDF+DOC 许多应用场合如床上、长途汽车座位上没有桌面存在，此时传统的光电鼠标就不方便应用。针对该问题，提出一种基于微机电系统惯性传感器的鼠标设计方法，利用传感器倾斜角和方位角测量特性控制鼠标在三维空间中自由运动，并在Windows平台上做了测试。结果表明，该设计方法可以部分消除噪声对MEMS加速度传感器测量值......
    2. 《基于MEMS技术的水平轴光纤加速度传感器》PDF+DOC 提出了一种基于微机电系统(MEMS)技术的水平轴光纤加速度传感器，并与Z轴光纤加速度传感器在同一MEMS芯片上制造，形成单一方向出纤的三轴光纤加速度传感器。分析了器件工作原理和器件结构参数与其性能的关系，利用MEMS技术成功制作出了加速度传感器样品。初步测试结果表明，本光纤加速度传感器灵敏度为164......
    3. 《集成现场标定功能的MEMS加速度传感器》PDF+DOC 针对传统机械振动台标定MEMS加速度传感器设备比较复杂且不方便现场标定的情况，设计了一种集成现场标定功能的加速度传感器.采用电磁驱动原理，用通电导线上产生的安培力模拟传统机械振动台惯性力.给出了加速度传感器结构，用有限元仿真软件ANSYS分析了传感器的运动模态和灵敏度，实现了弹性系数以及标定特性的验......
    4. 《微机电系统技术及其在陀螺上的应用》PDF+DOC 综述了微机电系统的特征及其应用前景。介绍了微机电系统陀螺的结构、原理及其在武器系统中的应用和研究开发动向。...
    5. 《垂直分工体系令MEMS封装加速迈向标准化》PDF+DOC MEMS封装技术正迅速朝标准化迈进。为满足移动装置、消费性电子对成本的要求，MEMS元件业者已开始舍弃过往客制化的封装设计方式，积极与晶圆厂、封装厂和基板供货商合作，发展标准封装技术与方案，让MEMS元件封装的垂直分工生态系统更趋成熟。随着智能手机或其它消费性电子装置大举导入微机电系统(MEMS)传......
    6. 《机械故障信息监测MEMS高频加速度传感器》PDF+DOC 结合机械故障信息监测的需求，将微机电系统(micro electro-mechanical system，简称MEMS)传感器技术引入到机械装备的振动测量中，介绍了压阻式MEMS加速度传感器的检测原理、结构设计、微加工工艺及其关键技术。以“小变形-大应力”为敏感结构设计思路，研制了梁膜结构、孔缝双桥......
    7. 《基于MEMS传感器的无线传感网络节点的硬件设计》PDF+DOC 为了解决对建筑物的结构健康安全监测进行在线监测的问题，采用微机电系统(MEMS)技术和无线传感器网络技术相结合的方法，提出了一种基于磁驱动增大检测电流的新型电容式加速度传感器结构，介绍了其工作原理，并设计了该传感器的电容检测电路，在ANSYS仿真软件上对传感器性能进行了评价，在Multisim上对检......
    8. 《基于MEMS传感器的虚拟现实参观系统》PDF+DOC 提出了一种基于MEMS传感器、LM3S1138嵌入式处理器和Vega仿真平台的虚拟现实参观系统，介绍了系统主机端和手柄模块的系统结构。通过坐标变换的方法将传感器测量值转换成手柄在球坐标系中的状态，并计算出动作指令发送给主机端以改变虚拟场景中的视角。在Vega虚拟场景中对比了理论指令边界和实测指令边界......
    9. 《MEMS惯性传感器可靠性试验方法研究》PDF+DOC MEMS惯性传感器在军事与商业应用中的一个主要问题便是可靠性试验方法尚未标准化，因而目前绝大多数MEMS惯性传感器器件的可靠性试验依据的是微电子的试验标准。但是，这些标准对于这类器件的适用性却受到许多机构的质疑，国外关于该问题的研究也已起步。汇总了MEMS惯性传感器器件的结构和工作原理等信息，重点总......
    10. 《MEMS加速度传感器在微型特种机器人中的应用》PDF+DOC 提出一种基于MEMS加速度传感器LIS3LV02DL的特种机器人姿态测控和环境感知方案。阐述了系统硬件组成，分析了传感器姿态测控方法和环境感知原理。为提高加速度传感器工作精度，设计了一种加速度传感器校正方法。试验结果表明：该加速度传感器能较好地感知机器人运动的姿态与方向，并实现机器人着陆姿态调整和外......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。