作者：郭源生,郭宏 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2009年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2009020370 DOC编号：DOCYBJS2009020379 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 基于MEMS工艺技术，采用了单岛膜结构及其数学模型，设计并在4~6英寸(1英寸=2.54 cm)硅片上制作了汽车轮胎压力专用传感器IC芯片；并经过结构转化、参数指标拓展，以及测试条件改变，扩大芯片功能和应用范围，使得量程繁多、品种繁杂的芯片，转化为宽泛量程与功能兼顾的芯片，达到批量生产的目的[1]。

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