作者：蒋传生,章恺 单位：南京机械工程学会;南京机电产业(集团)有限公司 出版：《机械制造与自动化》2016年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZZHD2016040110 DOC编号：DOCZZHD2016040119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 磁控溅射技术以其在制备薄膜中的独特优点，成为获得高性能薄膜材料的重要手段。采用掩膜法溅射的方法制作薄膜压力传感器敏感元件的电阻层，发现了掩膜法溅射在制作小间距线宽的弊端，引入了先溅射后光刻的制作工艺，实验结果表明，该方法能成功制作出所需的电阻图形。

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