作者：许明,孙以材,潘国峰,张翼飞,何建建 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》2009年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ2009020040 DOC编号：DOCCGSJ2009020049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • NO2是一种强毒性气体，本文利用了溶胶—凝胶法在硅片及陶瓷管上制备TiO2纳米薄膜，并探讨了在制备过程中不同的因素对薄膜成膜质量的影响。并用马弗炉对硅片及陶瓷管上制备的TiO2纳米薄膜进行不同温度的退火处理。对其分别进行XRD的分析，和原子力显微镜分析。利用气敏测试系统对不同的退火温度下的气敏元件进行测试。研制出工作温度低，气敏特性强，响应恢复特性好的基于TiO2的NO2气敏传感器。

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