作者：王立锦,陈连康,郭歌,王云蛟,于亚多,于广华 单位：北京科技大学 出版：《工程科学学报》2009年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBJKD2009030180 DOC编号：DOCBJKD2009030189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 选用磁致伸缩系数接近于零的软磁合金Ta/Ni0.65Co0.35作为磁敏感层，研究了热处理对Ta/Ni0.65Co0.35薄膜织构、磁学性能和磁电阻性能的影响.制备了Barber电极结构的磁电阻元件，对磁电阻元件的输出特性进行了测试.结果表明：真空退火可以有效降低薄膜内的应力和杂质缺陷，使晶粒尺寸增大，晶界对传导电子的散射减少，各向异性磁电阻(AMR)值提高；真空磁场退火有利于提高薄膜的单轴各向异性，使薄膜的AMR值和磁传感器元件的灵敏度增加。

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