作者:刘洋 单位:中国电子报社 出版:《电子设计技术》2009年第06期 页数:1页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDZSJ2009060330 DOC编号:DOCDZSJ2009060339 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • Vijay Ullal表示,摩尔定律在MEMS领域将不再适用,某个具备质量的物体是无法按照摩尔定律阐述的规律将体积缩小和提高集成度的。MEMS系统集成度的提高途径会与传统晶体管迥异,将主要通过空间的三维集成方式。

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