作者：李华,王晓浩,唐飞,林镇翔 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2009年第09期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2009090240 DOC编号：DOCGXJM2009090249 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 基于高场非对称波形离子迁移谱原理设计了一种由离子源，迁移区和检测器3部分组成的生化传感器。传感器采用真空紫外灯作离子源，高纯氮(99.999%)为载气，在常压下工作。加工了两种由两平行金属极板组成的迁移区，一种由两平板铜块组成，尺寸为25 mm&#215；10 mm&#215；1 mm；另外一种由微机电(MEMS)工艺加工，尺寸为20 mm&#215；10 mm&#215；1.5 mm。MEMS工艺加工的迁移区间距为1.5 mm，电场强度&lt；10 000 V/cm，不能过滤丙酮离子；铜块迁移区间距为1 mm，电场强度&gt；10 000 V/cm。当方波非对称射频电压峰峰值为1 600 V，频率为195.8 kHz，占空比为30%，补偿电压为-8.63 V时，采用平板铜块迁移区实现了丙酮离子的位移补偿，实验结果验证了传感器的性能。

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