作者：程颖,王江,尹延昭,刘亚娟 单位：成都市计量监督检定测试院 出版：《计量与测试技术》2009年第11期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJLYS2009110170 DOC编号：DOCJLYS2009110179 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文介绍了一种平膜结构的流量芯片，阐述了其结构设计、电路设计等关键技术，同时也对该芯片制成的流量传感器进行实验验证。实际测量和使用表明：该传感器具有测量精度高、体积小、功耗低、一致性好、互换性好等特点。

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