作者：王海涛,林玉池,付鲁华,齐永岳,赵美蓉,宋乐,吴颖 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2009年第11期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2009110020 DOC编号：DOCCGQJ2009110029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了一种微小力值测量系统的设计方法。系统采用了自主设计的传感器结构，充分利用了圆柱形电容传感器量程大、线性好、边缘效应小等特点，通过高精度直线轴承保证了运动的同轴度，又利用增加屏蔽结构等方法用来消除寄生电容的干扰。检测电路基于新型高精度、集成式电容数字转换器AD7747与单片机，实现了对电容变化量dC的精确测量。实验结果表明：该方法为10-5N以下的微小力值测量提供了一种有效的解决方案。

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