作者：杜利东,赵湛,庞程,方震,刘泳宏 单位：中国微米纳米技术学会;天津大学 出版：《Nanotechnology and Precision Engineering》2009年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNMJM2009040200 DOC编号：DOCNMJM2009040209 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了获得风速风向的信息，制作了一种拖动力式微型固态测风传感器.它包括两个正交封装的单元，每个单元用来独立地测量风速，含有一个薄平板和两个用来连接平板和硅衬底的短悬梁.由于当风从不同角度吹过传感器时悬梁上的应变不同，因此通过测量单个单元悬梁上的应变值可获得风速值，同时通过正交组装两个测风速单元获得风向值.该传感器在ANSYS软件中进行了模拟，用流体力学进行了分析，并在小型风洞中进行了测试.结果表明在输入电源电压为0.5V时传感器最大灵敏度高达60μV/(m&#183；s-1)，风向测量的线性度小于6%。

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