作者：马斌,梁平治,陈世军,程正喜 单位：中国真空学会 出版：《真空科学与技术学报》2009年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKKX2009020210 DOC编号：DOCZKKX2009020219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《集成热电堆传感器》PDF+DOC1993年第01期 A.W.Van Herwaarden,黄玢 《硅基热电堆真空传感器的制造技术》PDF+DOC2008年第02期 马斌,梁平治,陈世军,程正喜 《硅基热电堆真空传感器的耦合场分析》PDF+DOC2008年第05期 马斌,梁平治,陈世军,程正喜 《原子层热电堆热流传感器及在气动试验中的应用》PDF+DOC2015年第06期 杨庆涛,曾慧,王辉,朱新新 《用于探空仪的加热式湿度传感器及测量电路》PDF+DOC2014年第11期 罗毅,施云波,杨昆,商春雪,渠立亮 《基于MEMS技术的电容式微型真空传感器》PDF+DOC2008年第02期 张丹,林雁飞,冯勇建 《硅流量传感器的发展》PDF+DOC1991年第03期 白韶红 《微结构气体传感器的优化设计》PDF+DOC2005年第03期 李春明,张彤,刘丽,徐宝琨 《热电薄膜型气体流量传感器的热模拟分析》PDF+DOC2002年第06期 张昭勇,张昭猛,秦明,黄庆安 《MEMS气体流量传感器的简易流量测试装置》PDF+DOC2014年第08期 高杨,代富,席仕伟,刘婷婷

    • 本文描述了一种与CMOS工艺完全兼容的热电堆微型热传导真空传感器。该传感器可在商业化的标准CMOS生产流水线上进行流片，配合后续的无掩模体硅各向异性腐蚀工艺，即可完成全部制造程序。器件敏感部分为124μm&#215；100μm的多层复合薄膜架空结构，其上制作了n型多晶硅加热器、20对由p型多晶硅条和铝条构成的热电堆。利用加热器对复合薄膜加热，在不同的真空状态下，薄膜呈现不同温度，温度值由热电堆转换为温差电动势输出。本文在以下方面进行详细描述：1.器件的结构设计和制造工艺；2.器件的稳态和瞬态有限元分析；3.测试结果与理论分析的对照。结果表明，在加热器1.5V恒压驱动条件下，器件的气压敏感范围为0.1Pa~105Pa(空气)，此时热电堆输出电压范围为26mV~50mV，最大响应时间预计为1.4ms。

    📙 相关资料

    1. 《集成热电堆传感器》PDF+DOC 本文叙述集成硅热电堆和它们在硅传感器中的应用。首先概述热电效应及其在硅热电堆中的应用，重点阐述热敏传感器微结构的设计，其次讨论基于热效应的各种敏感原理，最后介绍利用这些原理最近研制的几种硅热电堆传感器。...
    2. 《硅基热电堆真空传感器的制造技术》PDF+DOC 发展了一种与CMOS工艺完全兼容并可在商业化的1.2μm标准CMOS生产流水线上进行流片的硅基热电堆真空传感器的制造技术与流程。传感器为悬浮的多层复合薄膜结构，其上制作了n型多晶硅加热器和20对由p型多晶硅条和铝条构成的热电堆。利用标准制造工艺中铝层图形的掩蔽作用，使用干法刻蚀工艺一方面去除了传感器......
    3. 《硅基热电堆真空传感器的耦合场分析》PDF+DOC 利用商业化的1.2μm标准CMOS生产流水线，配合无掩模体硅各向异性腐蚀工艺，制造了一种热电堆型真空传感器，器件敏感部分尺寸为124μm&#215；100μm，由5层薄膜组成，最大厚度为3.2μm.采用一种简化方式对传感器建立有限元模型.新模型一方面忽略了气体对流和热辐射的传热作用，另一方面......
    4. 《原子层热电堆热流传感器及在气动试验中的应用》PDF+DOC 针对高超声速飞行器气动热力学研究需要，介绍了一种新型的原子层热电堆热流传感器，该传感器基于横向塞贝克效应，产生一个正比于入射热流的热电势，实现热流的测量。在介绍测量原理、制作工艺、响应特性的基础上，分析了该传感器相对于传统的薄膜热流传感器在数据处理、测量时间和抗干扰能力方面的特点，在此基础上介绍了该......
    5. 《用于探空仪的加热式湿度传感器及测量电路》PDF+DOC 针对探空仪湿度传感器在高空低温、高湿恶劣环境下容易结露，湿度波动大、电路板分布电容对测量结果有影响等问题，研究了具有蛇形加热器的平板夹心电容式湿度传感器及其工艺制备方法，并设计了测量电路。采用微机电系统(MEMS)加工工艺设计了加热式湿度传感器，通过对传感器进行有限元分析，确定了传感器表面加热区域温......
    6. 《基于MEMS技术的电容式微型真空传感器》PDF+DOC 介绍了一种以MEMS技术为基础的电容式硅微真空传感器。该传感器主要采用p+硅自停止腐蚀技术和阳极键合技术制作，形成了玻璃-硅-玻璃的三明治结构。传感器的传感元是经过浓硼扩散的硼硅膜，方形硼硅膜的应用使传感器具有更高的灵敏度；感应耦合等离子体刻蚀硼硅膜引出金属电极的方法使传感器的制作更为简单。该真空微......
    7. 《硅流量传感器的发展》PDF+DOC 概述了近年发展起来的、利用热传导原理的固态硅流星传感器。这类传感器具有灵敏度高、响应快、易于智能化、批量化和造价低等特点。适用于小流量测量。图4幅参18...
    8. 《微结构气体传感器的优化设计》PDF+DOC 利用SiO2相对于SiNx有更低的热导率，作为膜式微气体传感器的热绝缘和电绝缘层，而单晶Si适合通过各向异性腐蚀形成倒杯状结构来支撑SiO2膜。将膜式微气体传感器中的加热器和信号电极设计在一个平面上，以减小工艺复杂度，获得较高的加热效率。利用有限元分析工具ANSYS分析比较加热器和信号电极在不同宽度......
    9. 《热电薄膜型气体流量传感器的热模拟分析》PDF+DOC 利用有限元分析工具ANSYS/FLOTRAN ，模拟并分析了一个基于薄膜结构的热电型气体流量传感器的温度场。并具体地分析了在气体流量通道入口处气体的流向角度对传感器输出信号以及气体流动状态的影响。将最终的模拟计算结果与实验数据进行比较 ，发现二者基本吻合。利用此热学模型来模拟和分析此类传感器 ，不但......
    10. 《MEMS气体流量传感器的简易流量测试装置》PDF+DOC 为了完成所研制的MEMS气体流量传感器样品的流量测试与标定，设计制作了一种由标准流量发生器和传感器信号读出与数据采集电路组成的简易流量测试装置。标准流量发生器由注射器和可更换的砝码组成，利用不同的砝码配重，在注射器出气口产生合适的恒定气体流速。通过理论分析和Ansys有限元数值仿真，验证了简易标准流......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。