《基于微悬臂梁的谐振式气体传感器》PDF+DOC

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2. 《压电谐振式微悬臂梁气体传感器》PDF+DOC 介绍了压电谐振式微悬臂梁的设计、制作方法和作为质量传感器的工作原理，及其在空气质量检测上的应用。实验结果验证了设计方法正确，制作工艺可行。在特定敏感层的作用下，该传感器对氟利昂气体在500&#215；10~(-6)范围内的响应呈指数衰减，在100&#215；10~(-6)范围内呈线性......
3. 《热激励谐振式硅微结构压力传感器》PDF+DOC 对一种以方形硅膜片作为一次敏感元件 ，硅梁作为二次敏感元件的热激励硅谐振式压力微传感器进行了较系统的研究 ：建立了微传感器敏感结构的工程用数学模型 ；以所建立的模型实际设计了敏感结构参数 ：方形膜边长 4 mm，膜厚 0 .1 mm，梁谐振子长...
4. 《电热激励硅谐振器件的研究》PDF+DOC 设计了悬臂梁结构电热激励、压阻拾取硅微机械谐振器件，分析了电热激励和压阻拾取的基本工作原理，设计了与Bipolar工艺兼容的器件制作工艺流程，并制作了器件样品。对真空中器件的幅频特性进行了实验研究，研究结果表明，在粗真空范围内，保持激励功率不变的情况下，微悬臂梁的振幅、谐振频率与真空度之间具有明显的......
5. 《硅微谐振式压力传感器测试方法研究》PDF+DOC 为了解决硅微谐振式传感器输出信号测试设计周期长，费用高；测试过程时间长，误差大的问题引入了了组合是敏感方法和压阻变换的原理。作为测试压力传感器的重要方法，本文介绍了上述方法的相关验证实验，最后针对实验结果做了简要分析。...
6. 《微悬臂梁传感器在环境检测中的应用》PDF+DOC 微悬臂梁传感器以其实时、高灵敏度、非标记等优点，成为一种新型环境检测手段。介绍了微悬臂梁传感器的工作原理，包括其工作模式、读出技术，总结了其在环境检测等方面的研究动态，并对其在环境检测领域的发展进行了展望。...
7. 《用于挥发性有机化合物探测的微悬臂梁传感器(英文)》PDF+DOC 在研制成功的用于化学气体探测的热驱动微悬臂梁谐振器的基础上，提出了基于这种微悬臂梁谐振器，并以聚合物涂层作为挥发性有机化合物吸附敏感层的谐振式气体传感器.利用3种聚合物材料：聚氧化乙烯(PEO)、聚乙烯醇(PVA)和聚乙二醇乙醚醋酸酯(PEVA)，在微悬臂梁谐振器上制备气体敏感层，探测6种挥发性有机......
8. 《基于MEMS技术的气体传感器》PDF+DOC 综述了目前国内外主要MEMS气体传感器的原理，包括谐振式微悬臂梁型、声表面波型、阻抗变化型、声光法、气体光谱、催化燃烧式和高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)检测法。对各种传感器的特点进行了比较。...
9. 《MEMS硅梁谐振式传感器的研究》PDF+DOC 通过对硅梁谐振式传感器工作原理的研究，结合Intellisuite软件对硅微悬臂梁谐振器的振动特性进行了分析，设计了具有悬臂梁结构的电热激励/压阻拾振的谐振式传感器，这种传感器具有体积小、功耗低、灵敏度高、准数字信号输出、成本低、与集成电路工艺兼容等优点。对研究制作过程中的关键工艺——各向异性腐蚀技......
10. 《谐振式压力传感器驱动仿真研究》PDF+DOC 谐振式传感器由于其重量轻、精度高、响应快在压力测量领域获得了飞速发展，传感器的构成包括机械谐振子在内的机电一体的谐振系统，而驱动系统对保持机械谐振器振荡的稳定性和可靠性起着重要作用。本文针对一种典型结构的谐振式压力传感器，分析比较了不同的闭环驱动结构，最后构建了其行为级闭环自激仿真模型，在MATLA......