作者：徐军,尤波,李欣,马静 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2009年第06期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2009060470 DOC编号：DOCGXJM2009060479 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了实现高精密温度测量，设计了高性能数字温度传感器，该传感器由石英音叉谐振器，数字接口电路和基于现场可编程门阵列的传感器重置控制算法构成。依据石英晶体压电效应原理，对石英音叉谐振器的热敏切型和电极设置进行了研究；基于力学振动原理，导出石英音叉谐振器弯曲振动模式的微分方程；讨论了谐振式温度传感器的工作原理，提取出石英音叉温度传感器的特征参数并进行了非线性误差分析；采用光刻和侵蚀技术加工制作了石英音叉谐振器。该传感器的频率输出信号通过数字接口进入现场可编程门阵列，通过重置控制算法实现传感器的重置和现场自动校验。实验结果表明，在-20 ～140 ℃，该传感器的灵敏度可达65&#215；10-6/℃，测温分辨率为0 .001 ℃，响应时间为1 s ，测温精度为0 .01 ℃。

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