《有机波导制备工艺对乐甫波传感器性能的影响》PDF+DOC
作者:胡佳,杜晓松,杨邦朝,谢光忠,应智花,蒋亚东,王涛,袁凯
单位:国家仪表功能材料工程技术研究中心;重庆仪表材料研究所;中国仪器仪表学会仪表材料学会
出版:《功能材料》2009年第03期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGNCL2009030240
DOC编号:DOCGNCL2009030249
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研究了基于PMMA波导的乐甫波传感器,研究了器件的插损以及质量灵敏度随波导层厚度变化的关系。采用低浓度、低粘度的前驱溶液,多步旋涂工艺制备了PMMA波导薄膜,降低了器件的插损,实现了2.18μm的“有效厚度”,器件的质量灵敏度达705cm2/g,与前人相比提高了1倍。
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