《柔性-微环光波导耦合结构的集成光学加速度传感器》PDF+DOC
作者:齐振恒,张彤,张晓阳,胡德文
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2009年第03期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2009030080
DOC编号:DOCCGJS2009030089
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给出了一种利用柔性-微环光波导耦合结构的集成光学加速度传感器,通过聚合物材料设计的柔性光波导,在外力作用下产生形变,该形变改变了柔性光波导与微环光波导的层间距,从而改变波导耦合器的耦合比,使得微环光波导谐振腔输出谱特性发生相应改变,继而有效地实现了加速度的传感。本文给出了这种新型的设计,推导了其检测原理并同时分析了其灵敏度的影响因素。
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