作者：邹其利,滕纲,李小换,张世名 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2009年第S1期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2009S10580 DOC编号：DOCYBJS2009S10589 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了一种压力、温度复合传感器的主要研制加工技术。通过采用灵敏度温度自补偿技术、激光调阻技术、以及薄膜微电路加工工艺等关键技术和手段，在弹性体上制作薄膜应变电阻和薄膜温敏电阻，实现压力、温度双参数测量的功能。同时通过监测温度，可以进一步精确修正压力参数测量的特性方程。

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