作者：崔云先,杨德顺,孙宝元,贾颖,徐军 单位：国家仪表功能材料工程技术研究中心;重庆仪表材料研究所;中国仪器仪表学会仪表材料学会 出版：《功能材料》2009年第11期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCL2009110270 DOC编号：DOCGNCL2009110279 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《多层复合式薄膜热电偶的研制》PDF+DOC1995年第03期 李付国,黄吕权,薛晖,吴诗惇 《多层膜气体传感器研制与特性试验》PDF+DOC2009年第07期 王昌龙,竺志大

    • 利用双放电腔微波ECR等离子体增强非平衡磁控溅射技术成功制备了切削刀具测温传感器的SiO2多层复合绝缘薄膜，研究了SiO2多层复合绝缘薄膜的制备工艺。通过扫描电镜、原子力显微镜、台阶仪和XPS对SiO2功能薄膜的表面形貌、膜厚及成分进行了观测，结果表明，制备的多层复合SiO2薄膜厚度小、绝缘性好，绝缘电阻达到9.5&#215；1012Ω。其与金属基体结合力可达16.7N，满足制作切削刀具测温传感器的要求。

    📙 相关资料

    1. 《多层复合式薄膜热电偶的研制》PDF+DOC 利用薄膜科学的最新发展和梯度功能材料的研究思路，成功地解决了金属基体表面沉积薄膜热电偶时的交叉绝缘和连接强度问题，从而研制出系列高性能的瞬态温度测量用薄膜热电偶测温传感器。...
    2. 《多层膜气体传感器研制与特性试验》PDF+DOC 针对粉末烧结型SnO_2基气体传感器功耗大、交叉敏感、工作温度高的问题，研制了多层复合薄膜型气体传感器，以抛光的耐热石英玻璃为基片，真空磁控溅射50～70nm厚度的SnO_2薄膜，在SnO_2薄膜上分别溅射不连续的ZnO、Al_2O_3、InO等薄膜，传感器背面溅射30μm的Ni_(80)Cr_(2......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。