《声表面波气敏传感器敏感薄膜厚度的研究》PDF+DOC
作者:李淑红,赵启大,廖同庆,廖继平
单位:中国电子科技集团公司第二十六研究所
出版:《压电与声光》2009年第04期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYDSG2009040020
DOC编号:DOCYDSG2009040029
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理论上研究了声表面波气敏传感器敏感薄膜厚度对系统灵敏度的影响。分析了气体浓度、敏感薄膜厚度、敏感薄膜密度对系统灵敏度的共同影响。提出了最佳薄膜厚度的概念,并给出了相应的关系式。
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