《射频反应磁控溅射SnO_2/MWCNTs薄膜材料的气敏性能研究》PDF+DOC
作者:林伟,黄世震,陈文哲
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2009年第06期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2009060010
DOC编号:DOCCGJS2009060019
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采用射频反应磁控溅射方法制备掺杂多壁碳纳米管(MWCNTs)的SnO2薄膜材料,并在此基础之上制作了NO2气敏传感器,使用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)研究了SnO2/MWCNTs薄膜材料的表面形貌、物质组份等材料特性,采用气敏元件测试系统来分析传感器的气敏效应,包括灵敏度、选择性、响应-恢复等特性,实验结果表明该气敏传感器对超低浓度(10ppb)NO2气体有很好的灵敏度,对干扰气体不敏感,提出了气敏机理解释实验现象。
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