《高精度电容式小孔孔径自动测量系统的研究》PDF+DOC
作者:李亚标,王宝光,冯晓强
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2009年第12期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2009120060
DOC编号:DOCCGQJ2009120069
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提出了一种新型的非接触电容式小孔孔径测量方法,设计了专用测头,组建了小孔孔径自动测量系统。该系统采用视觉CCD和二维微调整机构,实现了精确的定位。用VC++6.0开发了应用软件,用来控制系统的自动运行,并完成标定、数据采集和数据处理。实验结果表明:此系统分辨率可以达到0.5μm,重复性实验标准差可以达到0.81μm。
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