作者：马炳和,赵建国,邓进军,苑伟政 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2009年第08期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2009080320 DOC编号：DOCGXJM2009080329 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了测量飞机、流体管腔等气动面上的温度、剪应力等流场参数分布，以镍作为热敏材料，利用MEMS微加工技术在聚酰亚胺衬底上制作出了一种全柔性的热膜微传感器阵列。该传感器阵列的整体厚度薄(100μm以内)、软性可弯，可以紧贴曲型壁面从边界层底部实现非破坏性的动态流场参数测量。设计了器件阵列结构，研发了基于溅射成型与退火热处理的微加工工艺。结合工艺与测试实验，系统地分析了氩气压强、衬底温度、溅射功率、退火温度等工艺参数对电阻温度系数的影响规律。为了获得更高的器件灵敏度，通过优化工艺参数提高了柔性热膜微传感器的电阻温度系数，使其达到了4.64&#215；10-3/℃，并且保持了好的线性度。

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