作者：张早春,马以武,高理升 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2009年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2009060040 DOC编号：DOCYBJS2009060049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 分析了用于PZT形变-力传感-位移量传递模式实时检测的厚膜电容位移传感器的非线性问题，对传感器弹性膜片产生挠性形变以及位移检测带来的非线性问题做了系统的分析并给出了在小挠度形变情况下电容计算公式。仿真结果表明：在电容极板间隙为50μm、膜片厚度为0.55 mm、工作半径为10 mm、膜片中心偏移量为5μm的情况下，与普通极板电容计算公式相比，采用小挠度形变电容计算公式可使位移检测精度提高4.74%。

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