作者：郭然,陈德勇,王军波 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2009年第12期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2009120020 DOC编号：DOCYBJS2009120029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种新颖的微机械谐振式微流量传感器。该传感器采用电磁激励方式。传感器主要由1个3μm厚H型谐振器、1个40μm厚的悬臂梁平板(2000μm&#215；5000μm)以及连接平板和框架的2根40μm厚的支撑梁组成。谐振器采用低应力富硅氮化硅SiN制作，可以方便地使用湿法腐蚀释放谐振器，从而简化工艺流程，提高成品率。文中分析了理论模型、有限元仿真(FEA)、工艺制造和测试结果。测试结果显示，传感器在1 SLM(标准L/min)流量下，频率漂移为500 Hz，分辨率达到5/1000。但在输出(谐振器频率漂移)和输入(气体流量)间存在二次曲线关系。

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