《MZI型MOEMS压力传感器的研究》PDF+DOC
作者:王仕超,张晓霞,周勇,王祥斌,陈沛然,冷洁
单位:北京信息科技大学
出版:《传感器世界》2009年第04期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGSJ2009040030
DOC编号:DOCCGSJ2009040039
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集成光学压力传感器利用幅度、相位、折射率分布、光程和光波极化方式的改变来感应外部压力。设计了马赫-曾德尔干涉仪(MZI)型微型光机电系统(MOEMS)压力传感器,探讨了工作原理,分析了弹性薄膜尺寸对应力的影响和波导中TE、TM模式的光对波导折射率的影响。通过设计弹性薄膜的尺寸和选用特定波长的单模激光,得到传感器的工作特性。
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