作者:王仕超,张晓霞,周勇,王祥斌,陈沛然,冷洁 单位:北京信息科技大学 出版:《传感器世界》2009年第04期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGSJ2009040030 DOC编号:DOCCGSJ2009040039 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于MZI光波导的MOEMS压力传感器》PDF+DOC2009年第12期 王仕超,张晓霞,周勇,王祥斌,陈沛然,冷洁 《碳化硅基MOEMS压力传感器建模与仿真研究》PDF+DOC2015年第01期 吕秀杰,夏需强,唐帅,赵勇,王全全 《基于环形谐振器的生化光子传感器研究》PDF+DOC2017年第02期 孙雪伟,陈明,韩清华,许准,张娇 《几种新型集成硅微(型)传感器系统》PDF+DOC1996年第01期 温志渝,费龙,胡松,钟先信 《Ta_2O_5平面波导湿度传感器的研究》PDF+DOC1994年第06期 杜春雷,苗景歧,黎风 《从1988年光纤通讯和光纤传感器会议看光纤的发展动向》PDF+DOC1988年第08期 张国轩 《微光机电系统的应用领域及近期进展》PDF+DOC2003年第01期 《基于迈克尔逊干涉的光纤弯曲传感器》PDF+DOC2011年第02期 林巧,陈柳华,李书,吴兴坤 《折射率导引型微结构光纤特性与传感应用》PDF+DOC2011年第03期 苑立波,戴强,田凤军,周爱 《迈克尔逊干涉测薄膜厚度》PDF+DOC 郑志远,樊振军,董爱国,邢杰,张自力
  • 集成光学压力传感器利用幅度、相位、折射率分布、光程和光波极化方式的改变来感应外部压力。设计了马赫-曾德尔干涉仪(MZI)型微型光机电系统(MOEMS)压力传感器,探讨了工作原理,分析了弹性薄膜尺寸对应力的影响和波导中TE、TM模式的光对波导折射率的影响。通过设计弹性薄膜的尺寸和选用特定波长的单模激光,得到传感器的工作特性。

    提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。