作者：吴远大,安俊明,李建光,王玥,尹小杰,张家顺,王红杰,胡雄伟 单位：中国光学学会 出版：《光学学报》2009年第07期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXXB2009070520 DOC编号：DOCGXXB2009070529 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 研究了基于硅基集成光波导的马赫-曾德干涉仪(MZI)型化学传感芯片的设计、制备及相关敏感特性的模拟和分析。传感芯片采用硅基二氧化硅光波导材料，利用与传统互补型金属氧化物半导体(CMOS)兼容的工艺技术制作。通过波导的单模设计以及对MZI结构的优化，获得了有效折射率分辨率达到10-7量级的高灵敏度传感芯片。作为化学传感器，把MZI的其中一臂设计成传感臂，并进行适当的表面修饰，可制作出高灵敏度的干涉型光波导化学传感器。最后，对该传感器的折射率分辨率、敏感特性等进行了分析、模拟，同时，对面临的关键问题进行了分析和讨论。

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