作者：郭鑫,张海岩,彭春荣,夏善红 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2009年第S1期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2009S11120 DOC编号：DOCYBJS2009S11129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 研究了微型电场传感器结构释放过程的粘连现象，通过实验采用不同的方法来避免粘连现象的产生，如蒸发干燥法，CO_2临界点干燥法，自组装膜方法，并对这些方法的优缺点进行了比较。结果表明CO_2临界点干燥法和自组装膜方法能够较好的避免粘连现象的产生，提高微型电场传感器的成品率。

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