《非接触式表面电势测量的MEMS微型静电压仪》PDF+DOC
作者:彭春荣,刘世国,张海岩,郭鑫,夏善红
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》2009年第S1期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS2009S11090
DOC编号:DOCYBJS2009S11099
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针对工业中的表面电势测量应用,研制了一种新型的基于微机械加工技术(MEMS技术)的微型静电压仪。为了提高器件的信噪比和灵敏度,传感器敏感结构基于谐振式工作原理,并采用差分激励和差分敏感的结构设计。基于高速数字芯片和数字信号处理技术,研制了传感器的数字化检测系统原理样机。该传感器可实现非接触式表面电势测量,在距离目标表面20 mm位置,该传感器最小分辨电压优于10 V,精度优于10%。文中还进行了摩擦泡沫表面电势的测量,试验结果表明:该传感器可反映表面电势的变化和电荷衰减。
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