作者：赵良,陈向东,杨英,张清锦 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2009年第07期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2009070240 DOC编号：DOCCGQJ2009070249 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 传统气体传感器只能以简单一维扩散方式对气体响应，扩散机理是建立在表面效应基础上的。提出了一种新型电容式SO2气体传感器。该传感器敏感结构由离散的微型圆柱体单元三维式扩散模型组成，模型上表面和侧面同时接触被测气体，扩大了与被测气体的接触面积。根据气敏薄膜的扩散响应理论，对传感器的响应时间作出分析，并与梳状电容式气体传感器特性相比较，说明新型传感器具有响应时间更短的优点。

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