作者：胡雪梅,屈保中 单位：武汉理工大学 出版：《武汉理工大学学报》2009年第08期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWHGY2009080300 DOC编号：DOCWHGY2009080309 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 以定齿偏置梳齿闭环电容加速度传感器为例，简述了其工作原理，建立了其力学模型。经过分析得到静电力、量程、稳定性、灵敏度等关键物理量的具体表达形式。研究结果表明，加速度传感器的性能和折叠梁的尺寸，检测质量块质量、极板面积、偏置电压、反馈电压等因素有关。本文的研究为电容加速度传感器的进一步优化设计奠定了坚实的理论基础。

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