《Lamb波压差式微流量传感器》PDF+DOC
作者:贾宏光,光玲玲,MANCEAU Jean-Francois,BASTIEN Francois,刘波
单位:中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会
出版:《光学精密工程》2009年第05期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGXJM2009050180
DOC编号:DOCGXJM2009050189
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为提高微流体系统中的流量检测灵敏度,增大动态检测范围,实现温度补偿,提出了一种基于Lamb波的压差式微流量传感系统。该传感系统主要由两个Lamb波压力传感器和微通道组成,它利用Lamb波薄膜内应力的敏感特性,以频率计量的方式间接测量微通道两端的压力差;并采用双Lamb波压力传感器构成差动式测量结构进行温度补偿。对长20 mm,宽1 mm,高50μm的微通道进行了流量测试实验,结果表明:在流量测试范围内,微通道两端的频率差与流量基本呈线性变化,其线性相关系数为0.999 9;在微流量传感器未进行优化的前提下,最小检测量为0.627μL/s。
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