作者：尤彩红,张文栋,王文襄 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2009年第04期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2009040370 DOC编号：DOCYBJS2009040379 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了一种MEMS硅压阻微差压传感器的力学敏感元件设计及无应力制造与封装技术。使用双岛梁膜结构，取得了很高的输出灵敏度及优良的线性度。合理的钝化层应力互补技术是无应力制造技术的核心。衬底强化设计和O型圈悬浮封装的巧妙结合实现了无应力封装。使用这些技术生产的微差压传感器已在多年的生产实践中和重大科研中成功应用。

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