作者：王冰,尤彩红,王文襄 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2009年第S1期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2009S10600 DOC编号：DOCYBJS2009S10609 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了外径为Φ2 mm的超微型压力传感器芯片的设计与结构的封装。改微型传感器已成功用于空气动力学试验及生物医学，科学测试及研究中，尤其在高精度的流体动力学测试中，如风洞测试系统中，要求传感器不仅具有良好的动态特性，而且为了减少对测量流场的影响，提高测量的精度，对传感器的尺寸要求更加小型化。

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