《光纤MEMS法布里-珀罗压力传感器的准分布式测量》PDF+DOC
作者:倪小琦,王鸣,陈绪兴,戴霞娟
单位:南京师范大学
出版:《南京师范大学学报(工程技术版)》2009年第04期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFNJSE2009040160
DOC编号:DOCNJSE2009040169
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提出了一种基于傅立叶解调法的空分复用系统,实现了光纤微机电系统(M icroE lectroM echan ical System,MEMS)法-珀(FP)压力传感器的准分布式测量.传感器基于FP腔干涉的原理,采用MEMS技术加工制作,用傅立叶方法解调干涉信号,用光开关实现传感器复用.理论分析与实验验证了传感器解调和复用的基本原理.结果表明,该系统具有好的线性、灵敏度、精度和重复性,响应速度快,复用的传感器间无明显串扰,系统复用能力取决于光开关的通道数。
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