《一种基于相位光栅干涉微位移传感器的研制》PDF+DOC
作者:王淑珍,王生怀,谢铁邦
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》2009年第10期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS2009100040
DOC编号:DOCYBJS2009100049
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高精度微位移传感器是表面计量技术的关键技术之一。文中介绍了一种低成本、高精度的接触式微位移传感器。该传感器采用平行簧片实现精密直线运动,相位透射型正弦衍射光栅作为计量光栅实现高精密的位移测量。文中分析了其测量原理、光学原理、干涉条纹的光电接收以及辨向、细分。理论分析和实验应用结果表明该传感器垂直分辨率可达到nm级,测量量程为2 mm,可以用于微纳米表面形貌和轮廓的测量。
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