作者:王淑珍,王生怀,谢铁邦 单位:沈阳仪表科学研究院有限公司 出版:《仪表技术与传感器》2009年第10期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYBJS2009100040 DOC编号:DOCYBJS2009100049 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《一种小型相位光栅干涉式(PGI)微位移传感器》PDF+DOC2005年第01期 肖刚,谢铁邦,王选择 《双衍射光栅位移传感器原理及应用》PDF+DOC2008年第06期 王生怀,杨旭东,谢铁邦 《光电池在随动系统中的应用》PDF+DOC1997年第01期 邵长胜,闫大新 《纤维光柵作长度和角度的测量工具》PDF+DOC1993年第06期 В.Н.ИЛБИН,陆汉民 《一种新型集成光学微位移传感器的研究》PDF+DOC1989年第01期 蔡伯荣,陈铮,李玉祥 《新型实用光学应变传感器》PDF+DOC2002年第08期 史战军,史红军,史永基 《一种基于厚膜陶瓷电容的微位移传感器》PDF+DOC2011年第03期 钱玉洁,高理升,王焕钦,马以武,孔德义,熊剑平,王英先,张瑞 《基于扭曲光栅的曲率波前传感器》PDF+DOC2008年第07期 沈洪斌,张磊,吴健,国涛,黄富瑜,阎宗群 《空间扫描型光纤法布里-珀罗传感解调中信噪比的影响研究》PDF+DOC2015年第11期 江俊峰,邹盛亮,王双,刘铁根,刘琨,石俊锋 《磁致伸缩测量仪》PDF+DOC 王学凤,张志杰,孙昕,王东梅,杨百顺,柳丹
  • 高精度微位移传感器是表面计量技术的关键技术之一。文中介绍了一种低成本、高精度的接触式微位移传感器。该传感器采用平行簧片实现精密直线运动,相位透射型正弦衍射光栅作为计量光栅实现高精密的位移测量。文中分析了其测量原理、光学原理、干涉条纹的光电接收以及辨向、细分。理论分析和实验应用结果表明该传感器垂直分辨率可达到nm级,测量量程为2 mm,可以用于微纳米表面形貌和轮廓的测量。

    提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。