作者：杨英,陈向东,蔡镔 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2009年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2009050160 DOC编号：DOCCGQJ2009050169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种具有立体敏感效应的新型气体传感器敏感薄膜结构模型，即将传统的厚度均匀的平面型传感器敏感薄膜改进为由多条半圆柱凸起与多条沟槽相间隔的立体敏感结构。并根据扩散反应理论对新型和传统型2种薄膜结构的传感器响应时间进行了分析与比较，证明新型敏感结构的传感器具有更短的响应时间；分析了半圆柱凸起间距的相对系数对传感器响应时间的影响，得出了最佳取值。

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