作者：鲁亮,穆参军,李四华,吴亚明 单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国材料研究学会 出版：《功能材料与器件学报》2009年第01期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCQ2009010070 DOC编号：DOCGNCQ2009010079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文结合GLV技术设计了一种适于检测高压交流电的新型光学电流传感器。这一设计具有温度稳定性好、大电流下灵敏度高、频率响应范围宽等特点，且测量芯片制作工艺简单、成本低廉。通过有限元分析和数值计算对器件的模态、工作性能、热膨胀特性等进行了分析模拟，结果表明：测量芯片量程达500A~2000A，并可通过改变设计参数灵活调整；一阶固有频率接近60kHz，大电流下灵敏度接近0.2dB/A，外界温度变化&#177；50K时传感器测试误差在0.7%以内。

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