作者:王仕超,张晓霞,周勇,王祥斌,陈沛然,冷洁 单位:沈阳仪表科学研究院有限公司 出版:《仪表技术与传感器》2009年第12期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYBJS2009120030 DOC编号:DOCYBJS2009120039 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MZI型MOEMS压力传感器的研究》PDF+DOC2009年第04期 王仕超,张晓霞,周勇,王祥斌,陈沛然,冷洁 《高精度全聚合物MZI波导传感器》PDF+DOC2017年第03期 刘豫,谢泰洋,衣云骥,张大明 《抗共振反射集成光学传感器的研究进展》PDF+DOC2005年第11期 吴英才,顾铮先,袁一方 《费米折射率波导的包层吸收模谱特性和溶液浓度传感研究》PDF+DOC2008年第07期 王海虹,陈抱雪,邹任玲,矶守 《集成光波导传感器的研究进展》PDF+DOC2006年第03期 初凤红,韩秀友,庞拂飞,蔡海文,瞿荣辉,方祖捷 《带有U形波导的双微环级联结构的传感特性分析》PDF+DOC2016年第05期 张鑫,简家文,郑雁公,邹杰,李福安 《集成光学的应用潜力》PDF+DOC1994年第02期 卢茗 《使用多模波导的温度传感器》PDF+DOC1986年第01期 赵玉兰 《光波导模式谱(OWLS)用于生物医学检测的研究进展》PDF+DOC2006年第11期 谢骁,刘全俊,陆祖宏 《表面等离子共振传感器的研究进展》PDF+DOC2004年第05期 吴英才,袁一方,徐艳平
  • 集成光学压力传感器利用幅度、相位、折射率分布、光程和光波极化方式的改变来感应外部压力。设计了基于MZI光波导的MOEMS压力传感器,探讨了工作原理,分析了弹性薄膜尺寸对应力的影响和波导中TE、TM模式的光对波导折射率的影响。通过设计弹性薄膜的尺寸(a=2 mm,b=1 mm,h=20μm)和选用波长为1.31μm的单模激光,得到传感器的灵敏度为1.84×10-2kPa,半波压力为85 kPa。

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