《基于CMOS制造工艺的电容型湿度传感器》PDF+DOC

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2. 《一种格栅状上电极的CMOS工艺聚酰亚胺电容型湿度传感器(英文)》PDF+DOC 报道了采用标准CMOS工艺制作的格栅型上电极的电容型湿度传感器，采用高分子材料聚酰亚胺作为感湿介质，铝作为金属电极。对该湿度传感器的器件结构、制作工艺和传感器特性，如灵敏度、湿滞以及响应时间等进行了讨论。测试结果表明，在12%~92%的湿度范围内，电容-相对湿度曲线具有良好的线性度，灵敏度为0.9 ......
3. 《CMOS工艺制备聚酰亚胺电容型湿度传感器及其性能》PDF+DOC 以正胶光刻和干湿刻蚀方法，结合CMOS工艺制备了聚酰亚胺电容型湿度传感器。研究了硅基、钼–铝栅条状电极湿度传感器的结构及亚胺化温度对其性能的影响。结果表明：相对湿度(RH)为20%～80%发生准静态变化时，该传感器的湿度–电容曲线具有较好的线性度；外界相对湿度在12%和92%间发生阶跃变化时，响应时......
4. 《PI电容湿度传感器的研制》PDF+DOC 采用集成电路光刻工艺在玻璃衬底上制成了以聚酰亚胺（ＰＩ）为介质膜，以铬、金为电极的电容式湿度传感器．给出了传感器的制造工艺、湿敏特性和工作原理．测试结果表明：在相对湿度ＲＨ为０～９６％范围内Ｃ～ＲＨ曲线线性度良好，灵敏度为ＲＨ变化１％，电容变化０．１５～０．１７ｐＦ，该种湿度传感器的ＲＨ长期稳定性为......
5. 《一种新型结构的湿度传感器》PDF+DOC 本文提出了一种以聚酰亚胺为介质膜的电容式湿度传感器.它的工作原理是，在不同的湿度环境下，聚酰亚胺—水系统介电常数改变引起传感器电容的变化.该传感器具有工艺简单、体积小、灵敏度高、响应快等优点.该文介绍了它的结构、制造工艺和试验结果。...
6. 《CMOS兼容电容型湿度传感器的理论模型》PDF+DOC 对一种与CMOS工艺兼容的电容型湿度传感器进行了理论推导，物理建模和模拟仿真.该湿度传感器是采用梳状铝电极结构，聚酰亚胺作为感湿介质.通过分析感湿介质的介电常数吸附水分后的变化，考虑其电场分布，对电容型湿度传感器的理论模型进行了研究和模拟.利用Matlab软件对理论模型进行仿真，结果表明所建模型比通......
7. 《硅基/聚酰亚胺湿度敏感元件研究》PDF+DOC 硅基/聚酰亚胺湿度传感器是采用集成电路光刻工艺在硅衬底上制成了以PI材料为介质膜，以金、铝为电极的电容式湿度传感器。给出了聚酰亚胺(PI)材料的感湿机理，硅基/聚酰亚胺湿敏电容的结构，以及湿度传感器的制造工艺、湿敏特性、工作原理及应用等。测试结果表明，在相对湿度为10%-90%RH范围内C-%RH曲......
8. 《电容型湿度传感器模型计算与分析》PDF+DOC 以菲克第二扩散定律为基础，建立湿度传感器器件三明治结构模型，对聚酰亚胺电容型湿度传感器进行全面数值模拟，分析其电场分布、升降湿的动态过程及响应时间，并与实验结果进行对比分析。引入了自由体积理论对湿度传感器升、降湿过程的影响，使模拟过程更加符合实际情况，结果显示模拟结果和实验数据吻合良好，并根据对模拟......
9. 《聚酰亚胺电容式湿度传感器的制备工艺研究》PDF+DOC 改变传统丝网印刷制作电极的方法，采用正胶反刻、干湿结合的CMOS工艺研制出了以聚酰亚胺为感湿介质的相对电容式湿度传感器。并对其结构进行了理论分析，确定了湿度传感器的工艺步骤和版图设计。对其测量范围、湿滞和响应时间进行了测试。通过实验结果与模拟结果的对比分析，给出了该实验中存在的问题和改进意见。...
10. 《基于CMOS工艺的硅基PI湿度传感器的研制》PDF+DOC 在国内外湿度传感器研究的基础上，基于Si CMOS工艺研制出了以聚酰亚胺(PI)为感湿介质的电容型相对湿度传感器。并对其结构进行了理论分析，仔细确定了湿度传感器的工艺步骤和版图设计。对其测量范围、湿滞和响应时间等特性参数进行了详细的测试。通过实验结果与模拟结果的对比分析，给出了该实验中存在的问题和改......