作者：王凤伟,张辉,邓善熙,牛学虎 单位：成都工具研究所 出版：《工具技术》2009年第07期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJJS2009070600 DOC编号：DOCGJJS2009070609 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了气动测量中常用反射式和背压式气动传感器的设计与工作原理。理论分析出提高气动传感器灵敏度和测量范围的方法；通过对影响测量精度主要误差因素的分析，给出相应误差补偿的方法。所研制气动传感器的测量范围为55μm，分辨力为0.02μm，静态误差小于0.25μm，可适用于高精度高分辨力的非接触尺寸测量。

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