作者：周伟,刘民,姜伟,李昕欣 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2009年第S1期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2009S10980 DOC编号：DOCYBJS2009S10989 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 基于MEMS加工和模块化封装来制作用于碰撞冲击测量的加速度传感器。该传感器采用新型三梁-质量块敏感结构，在提高灵敏度的同时拓宽了频带范围。通过压阻效应形成惠斯通电桥，在500 g的量程下，灵敏度达到0.3 mV/g/5 V，固有频率15k Hz.传感器贴装在PCB板上，由经济实用的放大电路进行处理，可以实现两维的加速度测量，电压输出1～4 V，带宽500 Hz.传感器在车辆运输等实际环境下进行了试用，性能可靠稳定，具有良好的实用化前景。

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