作者：汤章阳,樊尚春,蔡晨光 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2009年第S1期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2009S10810 DOC编号：DOCYBJS2009S10819 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对硅微机械谐振式压力传感器，设计了一种新型的专用频率特性测试系统，采用直接相关原理进行微弱信号检测，简化了模拟电路设计；提出了分时正交的检测方法解算被测样件的幅频、相频特性。实验结果表明：系统实现了对硅微机械谐振式压力传感器的幅频和相频特性的同时测量，实测结果与理论值符合，不仅给出了闭环设计的必要参数，同时为加工工艺的改进提供了重要信息。

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