《基于CMOS工艺的硅基PI湿度传感器的研制》PDF+DOC

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2. 《PI电容湿度传感器的研制》PDF+DOC 采用集成电路光刻工艺在玻璃衬底上制成了以聚酰亚胺（ＰＩ）为介质膜，以铬、金为电极的电容式湿度传感器．给出了传感器的制造工艺、湿敏特性和工作原理．测试结果表明：在相对湿度ＲＨ为０～９６％范围内Ｃ～ＲＨ曲线线性度良好，灵敏度为ＲＨ变化１％，电容变化０．１５～０．１７ｐＦ，该种湿度传感器的ＲＨ长期稳定性为......
3. 《CMO S电容式湿度传感器的测量电路分析与仿真》PDF+DOC 对与CMOS工艺兼容的电容式湿度传感器的测量电路进行了分析和仿真，为后期的湿度传感器流片成功提供了有效的保证。该湿度传感器系采用梳状铝电极结构，聚酰亚胺作为感湿介质。比较不同的测量方法，得出最优的测量电路。对测量电路进行理论推导后，对其进行模拟，得出了输出电压与相对湿度的关系图。最后，对该湿度传感器......
4. 《CMOS电容式湿度传感器特性研究》PDF+DOC 提出了一种CMOS电容式湿度传感器特性研究方案。研究所用的微电容湿度传感器由标准CMOS工艺结合MEMS后处理技术加工而成。为了测试湿度传感器的响应时间，设计了一种响应时间测试装置。测试结果表明，该电容式湿度传感器在相对湿度25%～95%的范围内具有较好的线性度；其回滞在75%RH时达到最大，为2%......
5. 《一种新型结构的湿度传感器》PDF+DOC 本文提出了一种以聚酰亚胺为介质膜的电容式湿度传感器.它的工作原理是，在不同的湿度环境下，聚酰亚胺—水系统介电常数改变引起传感器电容的变化.该传感器具有工艺简单、体积小、灵敏度高、响应快等优点.该文介绍了它的结构、制造工艺和试验结果。...
6. 《硅基/聚酰亚胺湿度敏感元件研究》PDF+DOC 硅基/聚酰亚胺湿度传感器是采用集成电路光刻工艺在硅衬底上制成了以PI材料为介质膜，以金、铝为电极的电容式湿度传感器。给出了聚酰亚胺(PI)材料的感湿机理，硅基/聚酰亚胺湿敏电容的结构，以及湿度传感器的制造工艺、湿敏特性、工作原理及应用等。测试结果表明，在相对湿度为10%-90%RH范围内C-%RH曲......
7. 《具有SiO_2绝缘层的硅基聚酰亚胺电容式湿度传感器的特性研究》PDF+DOC 传统夹层聚酰亚胺电容式湿度传感器在亚胺化过程中感湿膜会因挥发物产生微孔，对这种传感器的成品率造成很大影响。为此，从元件的结构入手，制作Si-SiO2-PI结构的湿度传感器，对该种传感器的特性进行了测试，并与传统夹层式结构的样品进行了对比。研究表明，Si-SiO2-PI结构的湿度传感器在同等测试条件下......
8. 《高分子电容式湿度变送器研究》PDF+DOC 论述了高分子电容式湿度变送器的制作过程。该变送器由旋涂法制备的聚酰亚胺湿度传感器和以脉冲宽度调节电路为主的变送电路组成。文中对制备的高分子湿度传感器和变送器的湿敏特性进行了测试。结果表明，制备出的高分子湿度变送器对5.3％～93.4％RH范围内的相对湿度进行线性变换输出与相对应的电压信号。...
9. 《聚酰亚胺湿敏电容的制备与性能研究》PDF+DOC 利用一种自制的新型聚酰亚胺作为感湿材料，选择适当的亚胺化条件和电极制备方法制得湿敏电容，并对其进行了响应时间、灵敏度、温度系数、湿滞、非线性误差和湿度量程以及长期稳定性等一系列研究。各项研究结果表明：制得的湿敏电容综合性能良好，有望应用于湿度传感器领域。...
10. 《一种快速响应的电容式湿度传感器感湿薄膜设计》PDF+DOC 传统的电容式湿度传感器采用感湿膜都是水蒸汽通过上表面扩散的长方体感湿膜，因上表面面积有限，且有一部分被上电极覆盖，影响了系统的响应时间。采用了水蒸汽从周围扩散的圆柱体、圆环体结构，将其与传统的长方体做了比较，并在分析圆环体时引入的占空因子k，最后，将电容归一化得出圆柱体的响应时间约为长方体的10倍，......