作者：朱霁,高适,吉小军,左国民,韩韬,程振兴 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2009年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2009020340 DOC编号：DOCCGQJ2009020349 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 基于声表面波(SAW)技术的化学毒剂传感器在检测下限、响应速度以及减小温度、湿度交叉敏感等方面还需进一步提高。提出了在SAW双端口谐振器上涂敷超支化聚合物的方法提高传感器的检测下限和灵敏度。通过建立Van Dyke模型，分析了敏感膜对SAW化学毒剂传感器Q值、插入损耗以及电路阻抗匹配的影响。利用谐振器代替延迟线，确保了器件具有插入损耗、高Q值的特点。实验证实，在谐振器的中心栅结构上涂覆聚合物可以减小粘弹性聚合物对谐振器插损、Q值以及输入输出阻抗的影响。对设计的化学毒剂传感器进行了沙林毒剂检测实验，采用315MHz的SAW谐振器结合超支化聚合物膜，检测沙林气体浓度为5.0mg/m3。实验表明：这种传感器的灵敏度可达到600Hz/mg/m3，响应时间为50 s，恢复时间约为60 s。

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