作者：于清旭,贾春艳 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2009年第12期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2009120050 DOC编号：DOCGXJM2009120059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为满足工业和生物医学领域对微型化传感器的需求，实验研究了基于Fabry-Perot(F-P)干涉仪原理的膜片式微型光纤压力传感器的制作工艺。在单模光纤端面上直接熔接外径约175μm的毛细石英管，在石英管的另一端制作敏感膜片，从而使光纤端面与膜片内表面之间形成F-P干涉腔。采用电弧熔接、切割、腐蚀膜片等方法制作了石英膜片式压力传感器，该传感器在0～3.1MPa内F-P腔的腔长变化灵敏度为41.09nm/MPa，压强测量分辨率为681Pa，并具有很小的温度敏感系数。在30～140℃，温度交差敏感&lt；1.07kPa/℃。为了克服石英膜片减薄困难的缺点，选用聚合物材料(PSQ)作为压力敏感膜片制作了F-P传感器。室温下在0.1～2.1MPa，PSQ膜片的F-P腔长变化灵敏度达到1886.85nm/MPa，压强测量分辨率达到53Pa，十分接近人类或其他动物的体内压强测量水平。

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